新一代全检膜厚测量椭偏仪
发布时间：2023-01-13 15:46:33
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常规椭偏仪通常只能对一点进行膜厚测量，而且单点测量也需要耗费时间， 虽然也有可以做到自动扫描检测整个样品膜厚状况的手段，
但是点数和时间以及精度往往无法满足工业客户的需求。
对客户的这一痛点日本Photonic lattic 通过以自研的偏振传感器为核心的新一代全检膜厚测量椭偏仪，可以做到1000点/分钟，
6寸产品快可以在3分钟内完成， 不仅如此，ME-210-T针对透明基板也可测量。
高速/面分布测量
大每分钟1000点以上超高速全面测量膜厚， 短时间内就可以取得整个产品膜厚和分布图
微小领域测定（20un左右）
可简单测量任意微小区域
透明基板上的薄膜厚度也可测量
适用于玻璃基板上的极薄膜测定
